Descripción de productos
Especificaciones del producto
| Estándares | ASTM A269, ASTM A632, SEMI F19, SEMI F20 |
| Grados de acero | TP316L (UNS S31603) |
| Estándares equivalentes | EN 10216-5: 1.4404 / 1.4435;JIS G3459: SUS316L;ASME BPVC Sección II SA-269 TP316L. |
| Diámetro exterior (DE) | 1/8" – 4" (3,18 mm – 101,6 mm) |
| Espesor de pared (PE) | 0,035" – 0,120" (0,89 mm – 3,05 mm) |
| Longitud | Hasta 12 m o en forma de bobina |
| Tratamiento superficial | Electropulido (EP), Recocido Brillante (BA) |
| Proceso de producción | Estirado-en frío/laminado-en frío |
| Condición | Recocido en solución, empacado en sala limpia, en doble bolsa |
TP316L contiene entre 2,0 y 3,0 % de molibdeno, lo que muestra una excelente resistencia a la corrosión por picaduras y grietas (PREN mayor o igual a 24), significativamente superior al 304L. En condiciones de transporte de productos químicos, como HCl, HF y NH₄OH que se encuentran comúnmente en estaciones de limpieza húmeda de semiconductores y equipos de grabado, los tubos de acero inoxidable electropulidos TP316L muestran una tasa de corrosión más baja.
El tubo se somete a trabajo en frío y electropulido superficial, logrando una rugosidad superficial de Ra menor o igual a 0,13 µm, lo que reduce la resistencia al fluido y lo hace adecuado para sistemas de gas UHP.
Servicios personalizados
- TORICH ofrece dimensiones y tolerancias personalizadas, con diámetros exteriores y espesores de pared controlados con precisión a ±0,025 mm, junto con corte y desbarbado de precisión.
- Los tubos se someten a una limpieza final y un secado-libre de polvo en una sala blanca ISO Clase 5 (Clase 100), seguido de un embalaje purgado con vacío- o nitrógeno-en bolsas de doble- o triple-sala blanca-, con etiquetado externo rastreable.
- Se encuentran disponibles servicios de procesamiento de extremos de tubos- personalizados, que incluyen corte a escuadra y biselado, accesorios VCR, abocardado/bridado y roscado NPT o G.
- Se proporcionan opciones personalizadas de rugosidad de la superficie: EP estándar (Ra menor o igual a 0,2 μm), EP de alta-pureza (Ra menor o igual a 0,15 μm) y EP de pureza ultra-alta-(superficie interna Ra menor o igual a 0,1 μm).
Composición química
| Elemento | C | Minnesota | P | S | Si | cr | Ni | Mes |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TP316L (%) | Menor o igual a 0,030 | Menor o igual a 2,00 | Menor o igual a 0,045 | Menor o igual a 0,030 | Menor o igual a 1,00 | 16.0–18.0 | 10.0–14.0 | 2.0–3.0 |
Propiedades mecánicas
| Propiedad | Resistencia a la tracción (MPa) | Fuerza de producción (MPa) | Alargamiento (%) | Dureza (HB) |
| Valor | Mayor o igual a 485 | Mayor o igual a 170 | Mayor o igual a 35 | Menor o igual a 95 |
Posibles grados alternativos
- Si el costo es una consideración principal, el TP304L es una opción; no contiene molibdeno y es menos costoso que el TP316L, aunque ofrece una resistencia a la corrosión por picaduras inferior, lo que lo hace adecuado para sistemas de gas a granel en instalaciones que utilizan nodos de proceso maduros de 28 nm y superiores.
- 316L VAR sirve como actualización premium; Ofrece una mayor pureza del material y menos defectos superficiales, lo que lo hace adecuado para tuberías de gas de proceso críticas en los nodos de fabricación más avanzados (7 nm y menos).
- Para ambientes extremadamente corrosivos-como aquellos que involucran ácido fluorhídrico, ácido clorhídrico concentrado o productos químicos que contienen flúor--donde TP316L no es adecuado, Hastelloy C-22 es una opción viable, con un valor PREN superior a 42.
áreas de aplicación
- Sistemas de suministro de gas UHP– Distribución de gas de alta-pureza para N₂, O₂, H₂, Ar, He y gases semiconductores especiales.
- Sistemas de distribución de productos químicos (CDS)– Transferencia de ácidos y productos químicos de proceso de alta-pureza.
- Sistemas de agua ultrapura (UPW)– Tuberías para distribución de agua ultrapura de grado -semiconductor.
- Equipos de proceso de semiconductores– Conexiones de gas y químicos para equipos CVD, PVD, ALD, grabado, implantación y difusión.
- Gabinetes de gas y cajas de colectores de válvulas– Tuberías internas para sistemas de control y distribución de gas.
- Instrumentación analítica– Tuberías de alta-pureza para GC, MS, FTIR y equipos de monitoreo de procesos.
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Preguntas frecuentes
P: ¿Cuál es el acabado superficial interior típico de su tubo electropulido?
R: Utilizamos tubos de acero inoxidable electropulido que cumplen con las normas ASTM A269. La superficie interior es extremadamente lisa, con una rugosidad típica Ra inferior o igual a 0,4 μm, y puede refinarse aún más a Ra inferior o igual a 0,15 μm a petición del cliente.
P: ¿Cómo se garantiza una alta-precisión dimensional del tubo?
R: La precisión dimensional se garantiza mediante un estirado en frío de precisión, un recocido controlado y un estricto control del proceso de electropulido. Cada tubo se somete a una inspección para determinar el diámetro exterior, el diámetro interior, el espesor de la pared, la rectitud y la ovalidad, y los resultados de las mediciones se registran en el Certificado de prueba de fábrica (MTC).
P: ¿Este tubo es adecuado para soldadura orbital o soldadura TIG?
R: Sí. Nuestros tubos tienen una excelente soldabilidad. Se recomienda una limpieza previa-y una pasivación o electropulido posterior-a la soldadura puede restaurar la suavidad de la superficie y la resistencia a la corrosión de los tubos en sistemas de alta-pureza.
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